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德爾產物

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氟氮夾雜氣

正式之前：2024-05-13 | 市場：6851
產物稱號氣體純度氣瓶規格閥門充裝量（Kg）保質期
F2/N2（20%：80%）GB50LCGA6791.551年
GB50L*12CGA67918.61年
備注：可按客戶請求定制包裝規格


氟/氮 (F2/N2) 夾雜氣可對干法蝕刻進程中利用的東西停止高等潔凈。


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